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Machine Listing - Particle Counters

IEC 编号：117776
Manufacturer 制造商：Estek公司
Wafer Size 晶片尺寸：2 - 8 英寸
Equipment Class 设备类别：晶片度量仪
Model 型号：WIS 800
Quantity 数量：一台
Type 类型：微粒计数器Particle Counters

  简介：Estek公司产，WIS 800 (WIS 800)型度量仪-在捕获率95%条件下在硅片上检测0.22 um。NIST标准验证。适当设定下可做到2-8英寸。无光和有光通道系统。无光通道可用来检测微粒和任何光散射缺陷。有光通道用于检测无光散射缺陷，如隆起，涟漪和不均匀。探测镜面裂纹，包括大的微粒，隆起，涟漪，锯痕，凹槽，破裂，活结，表面穿刺，在大型除毛表面上的小微粒，在薄膜里/下掩埋的微粒。